kořenová šroubová vývěva

Rootsova šroubová vývěva pro výrobu polovodičů

Rootsova šroubová vývěva se skládá z Rootsovy vývěvy a šroubové vývěvy, které jsou zapojeny do série, aby dosáhly účinné čerpací funkce, a je jedním z důležitých zařízení pro průmyslovou výrobu a vědeckovýzkumné experimenty.

Kontaktujte nás
Popis

Šroubová vakuová pumpa Roots kombinuje přednosti Rootsových pump a šroubových pump a nabízí čisté, účinné a bezolejové vakuové řešení pro náročné průmyslové a laboratorní aplikace. Díky konstrukci s mezerovým těsněním a bez mazacího oleje si tyto pumpy zachovávají vysokou čistotu a výjimečný výkon po celou dobu provozu.

Princip fungování šroubové vývěvy Roots

  • Šroubová vakuová pumpa (předstupňová):Funguje jako předstupňová pumpa, poskytuje vysoké čerpací výkony a nízký výfukový tlak. Mechanická komprese pomocí přesných šroubových mezer zajišťuje efektivní, tichý a bezvibrační provoz.
  • Rootsova vakuová pumpa (hlavní/mezistupeň):Synchronně rotující dvojité rotory přenášejí výfukové plyny ze sací komory do výfukové komory. Těsnění mezery zabraňuje kontaminaci olejem a udržuje čisté vakuové prostředí.
  • Sériový provoz:Obě pumpy pracují sériově, přičemž šroubová pumpa zvyšuje úroveň vakua a Rootsova pumpa zajišťuje stabilní a nepřetržitou účinnost čerpání.

Výkonnostní výhody

  1. Úspora energie:Optimalizovaný poměr čerpací rychlosti a stupně vakua snižuje spotřebu energie a překonává tradiční vakuové systémy v energetické účinnosti.
  2. Vysoká účinnost:Dosahuje více než 90% účinnosti čerpání a poskytuje vysokou úroveň vakua při nízké spotřebě energie pro různé procesy.
  3. Bezpečnostní ochrana:Pokročilý řídicí systém s automatickým spuštěním/zastavením, ochranou proti přetížení, nadproudu a odpojením vody zajišťuje dlouhodobou stabilitu.
  4. Kompaktní design:Vertikální stohování nebo žebříková konstrukce minimalizují zástavbu, což je ideální pro továrny a laboratoře s omezeným prostorem.
  5. Flexibilní konfigurace:Nastavitelný poměr čerpací rychlosti mezi čerpadly (1:2 až 1:8) pro přizpůsobení různým pracovním požadavkům.
  6. Antikorozní vlastnosti:Přepadové povrchy jsou ošetřeny nebo vyrobeny z korozivzdorných materiálů, vhodných pro odsávání korozivních plynů a provoz v náročných podmínkách.

Oblasti použití

  • Chemický průmysl:Extrakce těkavých organických rozpouštědel, plynů a použití ve vakuových reaktorech – široce používáno v chemických a farmaceutických procesech.
  • Výroba polovodičů:Podporuje procesy vakuového nanášení, čištění a leptání.
  • Potravinářský průmysl:Nezbytné pro balení potravin, dehydrataci a vakuové sušení.
  • Metalurgický průmysl:Odstraňuje plyn z metalurgických pecí a laboratoří za účelem stabilizace tavicích procesů.
  • Laboratoře a vědecký výzkum:Ideální pro vakuové experimenty a zpětné získávání plynu ve vědeckých zařízeních.
  • Elektronický průmysl:Používá se při výrobě integrovaných obvodů, vakuovém pokovování obrazovek a dalších výrobních procesech v elektronice.